硅片甩干机：高效节能的半导体制造利器 介绍 硅片甩干机是半导体制造中重要的设备之一，用于去除硅片表面的水分和残留的化学物质。随着半导体工艺的不断进步，硅片甩干机的要求也越来越高，需要具备高效、节能、可靠、安全等特点。本文将从排风设计的角度，对硅片甩干机的设计进行探讨。 硅片甩干机的工作原理 硅片甩干机主要由甩干腔、旋转盘、电机、加热器、控制系统等组成。在工作时，硅片通过传送带进入甩干腔，旋转盘将硅片旋转，同时加热器加热甩干腔，使硅片表面的水分蒸发。排风系统开始工作，将甩干腔内的水蒸出，保证甩干